30微米單晶硅叉指電極光電檢測氣體濕度生物傳感器芯片MEMS高精度
| 【編號】BK2021012610 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012610 | 【規格】 | ||
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30微米硅基叉指電極光電檢測氣體濕度生物傳感器MEMS工藝
1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.線寬:30um，線距:30um，指長:1.5mm，叉指對數:20(40指).3．電極襯底為單晶硅，硅片表面生長 SiO2，厚度為300nm;4．金屬層結構: Cr/Au，厚度分別為10nm，100nm;
5．電極使用溫度范圍:-150℃～500℃;
6.主要用于各類化學,物理及醫療傳感器，性能可靠，質量穩定。7.量大價格從優。
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1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.線寬:30um，線距:30um，指長:1.5mm，叉指對數:20(40指).3．電極襯底為單晶硅，硅片表面生長 SiO2，厚度為300nm;4．金屬層結構: Cr/Au，厚度分別為10nm，100nm;
5．電極使用溫度范圍:-150℃～500℃;
6.主要用于各類化學,物理及醫療傳感器，性能可靠，質量穩定。7.量大價格從優。
我們提供各種叉指電極，包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材(氧化鋁陶瓷，PIV/PET 柔性材料，單晶硅)，不同工藝（厚膜工藝，PCB工藝，MEMS工藝)）。
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