130μm大尺寸陶瓷叉指電極電容陣列生物氣體濕度傳感器芯片10X20
| 【編號】BK2021012507 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012507 | 【規格】 | ||
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1、基材:氧化鋁陶瓷;外形尺寸:20mm*10mm。2、指寬:7oum，指間距:130um，指長:6.3mm。叉指對數: 20對（40指）。
3、金屬層結構: Ti/Cu/Ni/Au，厚度分別為:0.1um、5um、3um、1um。
4、適用溫度:從-150攝氏度到+350攝氏度。
5、大尺寸，大焊盤，更容易實驗操作和觀察。
我們提供各種叉指電極，包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材（氧化鋁陶瓷，PI/PET柔性材料，單晶硅)，不同工藝（厚膜工藝，DPC工藝，MEMS工藝)。
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3、金屬層結構: Ti/Cu/Ni/Au，厚度分別為:0.1um、5um、3um、1um。
4、適用溫度:從-150攝氏度到+350攝氏度。
5、大尺寸，大焊盤，更容易實驗操作和觀察。
我們提供各種叉指電極，包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材（氧化鋁陶瓷，PI/PET柔性材料，單晶硅)，不同工藝（厚膜工藝，DPC工藝，MEMS工藝)。
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